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PCBで汚染されたトランスの洗浄

かつてトランスには絶縁油としてPCBが使用されていましたが、PCBは毒性があり、現在では使用禁止物質となっています。PCBで汚れたトランスからPCBを除染する技術はつい最近までありませんでした。
ところが超臨界技術を用いることで、簡単に除染が可能になりました。汚染されたトランスをエントレーナーとしてのn-ヘキサンを含む超臨界二酸化炭素流体を処理すると、ほぼ100%除染することができます。

超臨界水で未露部分のレジストを除去

半導体素子や液晶ディスプレイデバイスなどの製造工程では、パターン形成のためにフォトレジストが用いられます。
基板の上に塗布されたレジストにパターンを焼付け、超臨界水で現像及び超臨界二酸化炭素でリンス処理を行った後、常圧にすると瞬時に乾燥させることができます。
この方法では乾燥時の水滴が発生しないので、歩留まりを高めることができます。

効果の高い内視境の洗浄

内視鏡は複雑で微細な形状をもつため洗浄が容易ではありません。洗浄後に水分が残っているとその後の工程であるガス殺菌に支障をきたし、またプラスチックを多く使っているので温度も高くすることもできません。
超臨界二酸化炭素を使うと、洗浄の工程では35℃程度の低温で内部管路まで洗うことができ、すすぎの工程ではほぼ完全に水分を取り去って急速に乾燥することができるため、次工程のガス殺菌を完全に行うことができます。